ULVAC愛發科  渦輪分子泵   羅茨泵  UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS

特點

泵體和控制器分開。控制器可以監控運行狀態并支持各種通信標準。

自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統裝置的設計更靈活。

排氣速度300L/s～4000L/s的型號陣容。

分子泵轉速在25-100%范圍內可變。通過改變轉速在腔室中實現壓力調節。

高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗、急停測試等各種安全性確認試驗。

用途

各種設備的主真空排氣系統

- 半導體制造設備

- 蒸鍍設備

- 濺射設備

- 研究開發設備

- 分析設備、實驗裝置等

主真空泵系統，用于不產生副反應生成物的輕工藝產線的真空系統。

其他的高真空排氣系統

ULVAC愛發科  渦輪分子泵   羅茨泵  UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS

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