RIX瑞顧克斯   半導體專用旋轉接頭   ESX20M-T010Y

晶圓清洗時為旋轉刷提供純水或清洗液時使用。

或者、精磨、粗磨等各種裝置的晶圓真空夾緊時使用。

氟化樹脂的構造、流路中沒有金屬粒子溶出隱患。還有使用了強化研磨粉或研磨液吸入現象的陶瓷密封面。

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